本申请公开一种改善复合薄膜表面极化反转现象的方法及复合薄膜，属于半导体制备领域，所述方法利用离子注入‑键合法或者键合‑减薄法，制备复合薄膜，其中，包括制备得到键合体以及对所述键合体热处理的步骤；其中，在对所述键合体热处理的过程中，通过UV紫外灯向所述铁电晶圆表面照射。UV紫外灯可以为键合体提供必要的光生载流子，从而提高键合体的导电率，这样，在热处理过程中，足够的紫外光照射可以有效的导走键合体内积聚的电荷，防止产生极化反转现象，从而保证制备得到的复合薄膜具有良好的压电性、热释电性及电光调制效率。