一种压电复合薄膜材料用极化夹具
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摘要

本申请公开了一种压电复合薄膜材料用极化夹具,主要包括极化组件、电极夹持器和夹具安装台;极化组件包括上电极极化板、下电极极化板和绝缘隔离板,绝缘隔离板上设预留开口;电极夹持器包括扭簧以及通过连接销互相铰接的上夹板本体和下夹板本体,上夹板本体前端和下夹板本体前端分别设有上夹板和下夹板,扭簧套于连接销上,且扭簧两端分别固定于上夹板和下夹板上;电极夹持器安装于夹具安装台上,上电极极化板连接于上夹板下表面,下电极极化板连接于下夹板上表面,绝缘隔离板被夹持在上电极极化板和下电极极化板之间。本发明的极化夹具适用于较小面积的压电复合薄膜材料的夹取,可以将多个电极夹持器部分安放于夹具安装台上共同工作。

基本信息
专利标题 :
一种压电复合薄膜材料用极化夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021545026.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-30
授权号 :
CN212303635U
授权日 :
2021-01-05
发明人 :
卓江山赵官峰徐凡娄维尧蔡姚杰
申请人 :
浙江工业大学
申请人地址 :
浙江省杭州市下城区潮王路18号
代理机构 :
杭州浙科专利事务所(普通合伙)
代理人 :
周红芳
优先权 :
CN202021545026.1
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687  H01L41/257  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-01-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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