具有腔体和压电岛的微机电装置及形成具有压电换能器的装置的...
授权
摘要
描述了具有压电致动器(104)的结构的微机电系统。多个压电岛由具有多个腔体(205)的主体(200)支撑。该压电岛部分地通过下述步骤形成：在临时结合到处理衬底的压电材料厚层内形成切口(145)，将该切割的压电层(107)附着到具有蚀刻特征的主体(200)，以及将该压电层研磨至小于切口(140)深度的厚度。导电材料(158、210)可以形成于压电层上以形成电极(106、112)。
基本信息
专利标题 ：
具有腔体和压电岛的微机电装置及形成具有压电换能器的装置的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101069295A
申请号 ：
CN200580040481.8
公开（公告）日 ：
2007-11-07
申请日 ：
2005-10-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
安德列亚斯·拜布尔约翰·A·希金森克里斯托弗·门泽尔保罗·A·霍伊辛顿
申请人 ：
富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司
申请人地址 ：
美国新罕布什尔州
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
陶凤波
优先权 ：
CN200580040481.8
主分类号 ：
H01L41/09
IPC分类号 ：
H01L41/09 H01L41/22 B41J2/14 B41J2/16
法律状态
2010-08-18 ：
授权
2008-01-02 ：
实质审查的生效
2007-11-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
