具有压电块的微机电装置及其制作方法
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摘要
描述了具有压电驱动器(104)的结构的微机电系统。各个驱动器包括由主体(200)支撑的压电岛。该压电岛部分地通过下述步骤形成：在压电材料厚层内形成切口(145)，将该切割的压电层(107)附着到具有蚀刻特征的所述主体(200)，以及将该压电层研磨至小于切口(140)深度的厚度。导电材料(158、210)可以形成于压电层上以形成电极(106、112)。
基本信息
专利标题 ：
具有压电块的微机电装置及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101065855A
申请号 ：
CN200580040482.2
公开（公告）日 ：
2007-10-31
申请日 ：
2005-10-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
安德列亚斯·拜布尔约翰·A·希金森
申请人 ：
富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司
申请人地址 ：
美国新罕布什尔州
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
陶凤波
优先权 ：
CN200580040482.2
主分类号 ：
H01L41/09
IPC分类号 ：
H01L41/09 B41J2/14
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法律状态
2009-08-26 ：
授权
2007-12-26 ：
实质审查的生效
2007-10-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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