本发明提供了一种压电元件、压电振动器及其制作方法、电子设备，涉及压电技术领域。本发明通过在第一电极上设置压电结构，并在压电结构上设置第二电极，且第二电极包括依次设置在压电结构上的导电层和抗氧化层，该导电层被配置为当压电元件发生击穿短路时，在压电元件的击穿位置与抗氧化层发生固溶，并氧化生成绝缘材料。通过采用导电层和抗氧化层作为压电元件的顶电极，在压电元件中的压电结构发生击穿短路时，基于短路产生的大量热量使得导电层融化，则抗氧化层和导电层会形成固溶体，缺失抗氧化层的导电层会发生氧化反应变为绝缘材料，使得压电元件的击穿位置从短路变为断路，避免压电元件某一位置发生击穿短路而导致整个压电元件失效。