压电微机械超声波换能器及其制作方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种压电微机械超声波换能器及其制作方法，该压电微机械超声波换能器包括：一基底，包括一角部；一空腔，设置于所述基底内；一阻挡结构，接触所述基底的所述角部和所述空腔；以及一多层结构，设置于所述空腔上方并附着所述阻挡结构，其中，该多层结构包括接触所述空腔的至少一通孔。该制作方法包括：提供一基底；形成一阻挡结构，该阻挡结构接触所述基底；形成一多层结构，该多层结构设置于所述基底和所述阻挡结构上；形成至少一通孔，所述至少一通孔穿透所述多层结构；以及，经由所述至少一通孔对所述基底提供一蚀刻剂，以蚀刻所述基底的一部分而形成一空腔，其中所述阻挡结构直接接触该空腔。
基本信息
专利标题 ：
压电微机械超声波换能器及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114335320A
申请号 ：
CN202011055554.3
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
钱优琼·约瑟夫·吉纳德阿罗拉奇许·库玛夏佳杰
申请人 ：
世界先进积体电路股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹县
代理机构 ：
深圳新创友知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐罗艳
优先权 ：
CN202011055554.3
主分类号 ：
H01L41/09
IPC分类号 ：
H01L41/09 H01L41/31 B81B7/02
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 41/09
申请日 : 20200929
申请日 : 20200929
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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