一种双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器
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摘要

本实用新型公开了一种双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器。换能器设有基底、结构层、底电极、压电层、上电极。换能器工作原理是利用正、逆压电效应实现机械能到电能或电能到机械能的转换。本实用新型在结构层上将振膜应力符号相反的两个部分划分为内外两个区域,其中内部区域采用边界固支的薄膜振动形式,外部区域采用单端固支的悬臂梁振动模式。通过对外部悬臂梁的几何尺寸的改变实现对其谐振频率的调节,从而选择性地实现:(1)当内部膜和外部梁的谐振频率相同时,可提高换能器的发射灵敏度;(2)当内部膜和外部梁的谐振频率差在‑3dB内时,可以增大换能器的带宽;(3)当内部膜和外部梁的谐振频率差很大时,可实现双谐振频率振动。

基本信息
专利标题 :
一种双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920774655.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-28
授权号 :
CN210171865U
授权日 :
2020-03-24
发明人 :
谢金陈旭颖杨邓飞
申请人 :
浙江大学
申请人地址 :
浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
代理机构 :
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 :
傅朝栋
优先权 :
CN201920774655.2
主分类号 :
B06B1/06
IPC分类号 :
B06B1/06  
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IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B06
一般机械振动的发生或传递
B06B
一般的机械振动的发生或传递(其特殊物理或机械方法见有关小类,如B07B1/40,B22C19/06,B23Q17/12,B24B31/06,E01C19/22;机械振动的测量,包括发生与测量的结合入G01H;利用声波反射或再辐射的系统入G01S15/00;勘探用地震能的产生入G01V1/02;机械振动的控制入G05D19/00;声音发送、传导或定向的一般方法或装置入G10K11/00;声波的合成入G10K15/02;压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件入H01L41/00;有振动磁体、电枢或线圈的电动机入
B06B1/00
产生亚声频、声频或超声频的机械振动的过程或设备
B06B1/02
利用电能
B06B1/06
用压电效应或用电致伸缩工作的
法律状态
2020-03-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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