压力传感器和电子装置

授权

摘要

本发明涉及传感器技术领域，提出一种压力传感器和电子装置。该压力传感器包括衬底基板、薄膜晶体管、电极层和弹性导体层；薄膜晶体管设于衬底基板之上；绝缘层组设于薄膜晶体管的远离衬底基板的一侧，绝缘层组上设置有过孔；电极层设于绝缘层组的远离衬底基板的一侧，电极层包括第一电极和第二电极，第一电极和第二电极之间设置有间隔空间，第一电极通过过孔连接于薄膜晶体管的源极或漏极；弹性导体层设于电极层的远离衬底基板的一侧，弹性导体层的电阻能够随施加在其上的压力的变化而变化，使通过第一电极和第二电极之间的电流发生变化。该压力传感器的响应度高、灵敏度较高、有超低的检测限。

基本信息

专利标题：

压力传感器和电子装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111811703A

申请号：

CN202010704520.6

公开（公告）日：

2020-10-23

申请日：

2020-07-21

授权号：

CN111811703B

授权日：

2022-04-08

发明人：

梁魁

申请人：

京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司

申请人地址：

北京市朝阳区酒仙桥路10号

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司

代理人：

王辉

优先权：

CN202010704520.6

主分类号：

G01L1/18

IPC分类号：

G01L1/18