本发明公开一种高真空单向阀，包括相互配合连接的定位基座、安装支架和止流叶片；所述定位基座的中部设有轴向的第一通孔，所述定位基座在所述第一通孔的四周设有密封结构；所述安装支架的中部设有轴向的第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔交汇处设置所述止流叶片，所述止流叶片的四周覆盖并密封抵接所述密封结构；所述止流叶片的至少一对侧边与所述安装支架的侧壁滑动连接，所述止流叶片远离所述第一通孔的一面还连接有弹簧压紧组件，所述弹簧压紧组件安装在所述安装支架上；本高真空单向阀结构简单，易于制作和安装，适合用于多腔体连续线镀膜机中，能够在气体压力差的作用下自行开启和关闭所述止流叶片。