本发明实施例提供一种清洗装置，其包括基座和边缘清洗机构，其中，基座可旋转并用于承载待清洗件，且基座的外径小于待清洗件的直径，以使待清洗件的边缘部分能够自基座的外周面伸出；边缘清洗机构设置在基座的一侧，且包括清洗结构和边缘喷嘴结构，其中，清洗结构包括一清洗腔，待清洗件的边缘部分容置于清洗腔中；边缘喷嘴结构包括喷嘴，喷嘴容置于清洗腔中，用以朝向待清洗件的边缘部分喷淋清洗液。本发明实施例提供的清洗装置，其不仅可以有效清除待清洗件边缘上的颗粒等污染物，而且可以防止清洗液溅射至待清洗件除边缘部分之外的其他部分，从而可以避免二次污染，提高产品良率。