一种二维纳米定位平台
授权
摘要
本发明公开了一种二维纳米定位平台,属于影像级原子力显微镜定位控制领域,包括:平台基身、运动平台和驱动装置,运动平台设置于平台基身的中心位置,用于在驱动信号的作用下在平台基身上进行位移运动;驱动装置分别与平台基身和运动平台连接,设有依次对应连接的四个方向的驱动器槽、四个方向的驱动支链、四个方向的连接支链和四个方向的传动支链组。驱动器槽中驱动器输出的驱动信号,经驱动支链、连接支链输出至传动支链组,并带动运动平台进行二维平移运动。本申请平台以运动平台为中心呈对称分布,各方向传动支链组采用三平行轴对称支链布局,能够有效降低耦合误差;一体化柔顺机构设计,具有高刚度无摩擦等特性,能够提高平台的固有频率。
基本信息
专利标题 :
一种二维纳米定位平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112067850A
申请号 :
CN202010879903.7
公开(公告)日 :
2020-12-11
申请日 :
2020-08-27
授权号 :
CN112067850B
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
张海涛王志岳陈智勇易明磊
申请人 :
华中科技大学
申请人地址 :
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 :
华中科技大学专利中心
代理人 :
李智
优先权 :
CN202010879903.7
主分类号 :
G01Q10/00
IPC分类号 :
G01Q10/00 G01Q60/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01Q
扫描探针技术或设备;扫描探针技术的应用,例如,扫描探针显微术
G01Q10/00
扫描或定位设备,即主动控制探针的运动或位置的设备
法律状态
2022-05-24 :
授权
2020-12-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01Q 10/00
申请日 : 20200827
申请日 : 20200827
2020-12-11 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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