一种微纳跨尺度聚合物喷针的制造方法
授权
摘要
本发明属于微机电研究领域，涉及一种微纳跨尺度聚合物喷针的制造方法。本发明采用侧蚀剥离法和反应离子深刻蚀技术，制备硅纳米模具；通过PDMS浇注技术将硅纳米模具的图形转移到PDMS上，制备带有纳米沟道图形的PDMS纳米模具。通过热压印将PDMS纳米模具的图形转移到SU‑8光刻胶上，形成纳米沟道；采用反向紫外曝光方法制造微米沟道同时紫外固化纳米结构。用SU‑8光刻胶盖板通过氧等离子体辅助热键合，对微纳沟道进行封装，获得微纳跨尺度聚合物喷针。热键合后采用湿法刻蚀方法去除聚合物喷针下面的玻璃基底，使聚合物喷针针尖前部悬空，形成针尖悬空的带有微纳复合图形的聚合物喷针。本发明操作简单、成本低、工艺重复性好。
基本信息
专利标题 ：
一种微纳跨尺度聚合物喷针的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111977611A
申请号 ：
CN202010893592.X
公开（公告）日 ：
2020-11-24
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
CN111977611B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
邹赫麟郭冉徐良
申请人 ：
大连理工大学
申请人地址 ：
辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
代理机构 ：
大连理工大学专利中心
代理人 ：
梅洪玉
优先权 ：
CN202010893592.X
主分类号 ：
B81C1/00
IPC分类号 ：
B81C1/00 B81B7/00 B82Y40/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81C1/00
在基片内或其上制造或处理的装置或系统
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2020-12-11 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81C 1/00
申请日 : 20200831
申请日 : 20200831
2020-11-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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