一种防火报警装置用探测器及其制作方法

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摘要

本发明公开了一种防火报警装置用探测器，包括由下至上依次设置的蓝宝石衬底、AlN缓冲层、n型Al0.4Ga0.6N层、i型Al0.4Ga0.6N势垒层、p型Al0.4Ga0.6N层和p型GaN层；所述p型GaN层上还生长有具有周期性的多量子阱相耦合而成的i‑GaN/i‑Al0.3Ga0.7N超晶格结构层；所述i‑GaN/i‑Al0.3Ga0.7N超晶格结构层的顶部生长有GaN纳米线阵列；所述GaN纳米线阵列顶部设有交叉指状电极。本发明集成了GaN纳米线阵列，不仅使得防火报警装置用探测器具有了多功能性的特点，即同时实现了红外光，紫外光和烟雾探测，还有效地降低了误报率。同时能够检测烟雾中的一氧化碳，二氧化硫，二氧化碳，实现了防火报警装置用探测器的多功能性，高可靠性，高准确性，高安全性以及高实用性，使烟雾报警器的运用更加广泛。

基本信息

专利标题：

一种防火报警装置用探测器及其制作方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112164730A

申请号：

CN202010934937.1

公开（公告）日：

2021-01-01

申请日：

2020-09-08

授权号：

CN112164730B

授权日：

2022-04-29

发明人：

余晨辉陈红富徐腾飞沈倪明罗曼

申请人：

南通大学

申请人地址：

江苏省南通市啬园路9号

代理机构：

常州易瑞智新专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

徐琳淞

优先权：

CN202010934937.1

主分类号：

H01L31/105

IPC分类号：

H01L31/105 H01L31/0352 H01L31/0304 H01L31/18 G01N27/12 G01J1/42 B82Y40/00 B82Y15/00