微网探测器的制作方法
实质审查的生效
摘要

本申请公开了一种微网探测器的制作方法,包括:备好读出阳极板和金属微网;在所述读出阳极板上涂抹液体光刻胶至预设厚度,以形成光刻胶层;将所述金属微网覆设于所述光刻胶层,并进行刻蚀以形成绝缘支柱;在所述读出阳极板上制作漂移电极,完成所述微网探测器的制作。在上述的微网探测器的制作方法中采用液体光刻胶涂抹至预设厚度,避免了因固态光刻胶多次叠加导致成品率不足的情况,从而提高了微网探测器的质量与成品率。通过对光刻胶层刻蚀以形成绝缘支柱,从而可以通过光刻设备进行批量化制作,提高制作效率,实现批量化生产。

基本信息
专利标题 :
微网探测器的制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114538368A
申请号 :
CN202210004351.4
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-01-05
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李笑梅宋金兴孙鹏飞孙浩周静胡守扬陈雷李沛玉智宇赵明锐贾世海张昀昱
申请人 :
中国原子能科学研究院
申请人地址 :
北京市房山区新镇三强路1号院
代理机构 :
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 :
陈煌辉
优先权 :
CN202210004351.4
主分类号 :
B81C1/00
IPC分类号 :
B81C1/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B81
微观结构技术
B81C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81C1/00
在基片内或其上制造或处理的装置或系统
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81C 1/00
申请日 : 20220105
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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