含铒感应材料的长波红外传感器、其制备方法及应用
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种含铒感应材料的长波红外传感器、其制备方法及应用,传感器包括:衬底,衬底上形成有测试焊盘;导电桥墩,连接于衬底,导电桥墩通过位于衬底上的互连线连接测试焊盘;桥面,悬浮于衬底之上,桥面的两端由导电桥墩支撑;含铒材料电阻,位于桥面上,含铒材料电阻呈蜿蜒状延伸,含铒材料电阻的两端通过电极通孔及布线层连接导电桥墩,含铒材料电阻在长波红外传辐射下具有电阻值变化;碳纳米管,覆盖于含铒材料电阻及桥面上,用于吸收及增强经由被测物体发射的红外辐射。本发明通过在长波红外传感器设计配置含铒材料电阻,极大提高了传感器的感应单元对长波红外的能量敏感性,可有效解决辅助驾驶中长波红外信号获取的问题。
基本信息
专利标题 :
含铒感应材料的长波红外传感器、其制备方法及应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114323298A
申请号 :
CN202011026456.7
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2020-09-25
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王华李宏李嘉彦
申请人 :
上海新微技术研发中心有限公司;上海桐钻光电科技有限公司
申请人地址 :
上海市嘉定区城北路235号1号楼
代理机构 :
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 :
罗泳文
优先权 :
CN202011026456.7
主分类号 :
G01J5/20
IPC分类号 :
G01J5/20 G01V8/10 H01L31/0216 H01L31/09 H01L31/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法
G01J5/00
辐射高温测定法
G01J5/10
用电辐射检测器
G01J5/20
用对辐射敏感的电阻器,热敏电阻器或半导体
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01J 5/20
申请日 : 20200925
申请日 : 20200925
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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