一种谐振器及其形成方法，谐振器的形成方法包括：提供压电叠层结构，压电叠层结构包括第一区域和环绕第一区域的第二区域，压电叠层结构具有第一面和与第一面相背的第二面；在压电叠层结构的第一面上形成第一介电层；提供第一衬底，所述第一衬底的顶部具有顶部掺杂区；将第一介电层和第一衬底的顶部相键合；在压电叠层结构的第二面上形成第二介电层；刻蚀第二区域的第一介电层、压电叠层结构以及第二介电层，形成露出顶部掺杂区的第一开口和第二开口；在第一开口和第二开口中分别形成第一插塞和第二插塞。在谐振器工作时，第一插塞用于将后段的静电流引致第一衬底上，快速将肖特基二极管击穿，将后段的静电释放掉，有利于提高谐振器的电学性能。