本公开提供了一种光罩微粒的定位方法、装置、存储介质与电子设备，属于半导体技术领域。所述方法包括：通过目标光罩的路径数据确定预设时间内所述目标光罩经历的位置数据，所述位置数据包括所述目标光罩在各扫描时刻的微粒信息；根据所述位置数据确定所述目标光罩表面存在微粒时的位置信息，以得到所述目标光罩的目标位置数据；根据所述目标位置数据确定所述目标光罩在相邻扫描时刻内的光罩位置数据，并按照位置优先级在所述光罩位置数据中确定所述目标光罩表面的微粒来源位置；根据所述目标光罩的微粒来源位置生成所述目标光罩在所述预设时间内的微粒位置分析报告。本公开可以提高确定光罩上微粒来源位置的效率，减少制造成本。