弱耦合式MEMS加速度传感器

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摘要

本发明公开了一种弱耦合式MEMS加速度传感器，包括N个锚点，用于提供锚固连接点；敏感质量块；M个支撑结构，与M个锚点连接，用于支撑敏感质量块；第一谐振器，包括第一谐振梁、第一驱动电极和第一检测电极，第一谐振梁一端通过杠杆结构与敏感质量块连接，第一驱动电极用于给第一谐振梁激振，第一检测电极用于检测第一谐振梁的振幅；第二谐振器，包括第二谐振梁、第二驱动电极和第二检测电极，第二谐振梁的一端与一个锚点连接，第二谐振梁的另一端通过耦合结构与第一谐振梁的另一端连接，第二驱动电极用于给第二谐振梁激振，第二检测电极用于检测第二谐振梁的振幅；第一谐振器的质量小于第二谐振器的质量，第一谐振器与第二谐振器的本征频率相等。

基本信息

专利标题：

弱耦合式MEMS加速度传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112230017A

申请号：

CN202011100965.X

公开（公告）日：

2021-01-15

申请日：

2020-10-15

授权号：

CN112230017B

授权日：

2022-04-01

发明人：

邹旭东汪政熊兴崟王坤锋李志天杨伍昊

申请人：

中国科学院空天信息创新研究院

申请人地址：

北京市海淀区北四环西路19号

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

孙蕾

优先权：

CN202011100965.X

主分类号：

G01P15/097

IPC分类号：

G01P15/097