一种透射电镜样品载网
实质审查的生效
摘要
本公开提供一种透射电镜样品载网。本公开的透射电镜样品载网包括：基底，以及位于所述基底一侧向外延伸的至少一个附着部，所述附着部用于附着透射电镜样品；所述附着部的至少一侧边呈阶梯状。该方案的优点在于：可以大量制作透射电镜样品附着于载网附着部上；使用FIB进行半导体研发分析的产能增加；对于FIB和TEM分析，降低了分析周期，提高了研发效率。
基本信息
专利标题 ：
一种透射电镜样品载网
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114460107A
申请号 ：
CN202011142254.9
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2020-10-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李德元余嘉晗
申请人 ：
中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘广达
优先权 ：
CN202011142254.9
主分类号 ：
G01N23/04
IPC分类号 ：
G01N23/04 G01N23/20025
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/02
通过使辐射透过材料
G01N23/04
并形成材料的图片
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 23/04
申请日 : 20201022
申请日 : 20201022
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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