电容式生物感测器
实质审查的生效
摘要
本发明实施例提供一种电容式生物感测器。电容式生物感测器包括：晶体管、设置于晶体管上的内连线结构以及设置于内连线结构上的钝化层。内连线结构包括晶体管上的第一金属结构、第一金属结构上的第二金属结构以及第二金属结构上的第三金属结构。第三金属结构包括依序堆迭的第一导电层、第二导电层与第三导电层。钝化层具有开口，其露出部分的第三金属结构。电容式生物感测器更包括设置于内连线结构上的感测区。感测区包括第一感测电极与第二感测电极，第一感测电极由第三导电层形成，且第二感测电极设置于钝化层上。
基本信息
专利标题 ：
电容式生物感测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114487039A
申请号 ：
CN202011143756.3
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-10-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张正平李建辉巫建勋杨岱宜陈永祥
申请人 ：
世界先进积体电路股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹科学园区
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
薛平
优先权 ：
CN202011143756.3
主分类号 ：
G01N27/22
IPC分类号 ：
G01N27/22 B81B7/00 B81B7/02 B81C1/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/22
通过测试电容量
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/22
申请日 : 20201023
申请日 : 20201023
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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