一种片盒保管搬运系统
实质审查的生效
摘要

本发明属于电子半导体生产技术领域,特别涉及一种片盒保管搬运系统。包括片盒保管搬运机器人和片盒存储框架,其中片盒存储框架的一侧从上至下依次设有天车位、缓存位和人工位,另一侧设有装载设备;片盒保管搬运机器人设置于片盒存储框架内,用于片盒在各工位之间的传输。片盒存储框架的一侧设有与人工位相对应的推拉门,推拉门上设有安全门锁;片盒存储框架上设有用于控制安全门锁开合的取片盒按钮和放片盒按钮。本发明的片盒存储框架配合片盒保管搬运机器人可以设计两列缓存区,增加了片盒的存储量,满足高产能的要求。片盒存储框架上的人工位可以在天车出现故障时,由人工将片盒取出和放置到人工位上。

基本信息
专利标题 :
一种片盒保管搬运系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114435813A
申请号 :
CN202011214845.2
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2020-11-04
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘晓姣洪旭东
申请人 :
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请人地址 :
辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
代理机构 :
沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 :
何丽英
优先权 :
CN202011214845.2
主分类号 :
B65G1/04
IPC分类号 :
B65G1/04  B65G47/90  B65G1/20  B65G1/16  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G1/00
在仓库或库房内贮存单个的或顺序布置的物件
B65G1/02
贮存装置
B65G1/04
机械的
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B65G 1/04
申请日 : 20201104
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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