本发明公开了一种用于特高频传感器性能校验的系统，其包括：吉赫兹横电磁波小室，其上设有馈源头和测量工位，测量工位用于放置待测的特高频传感器；吉赫兹横电磁波小室内设有芯板，且芯板与馈源头连接；矢量网络分析仪，其第一端口与馈源头连接，其第二端口与待测的特高频传感器的输出端连接；其中，矢量网络分析仪输出的参数曲线被用于提取表征特高频传感器性能的特高频传感器的有效高度、包络峰值、包络宽度和振荡时间。相应地，本发明还公开了一种用于特高频传感器性能校验的方法，其包括步骤：(1)搭建上述系统；(2)由矢量网络分析仪输出的参数曲线，提取表征特高频传感器性能的特高频传感器的有效高度、包络峰值、包络宽度和振荡时间。