一种锌基合金材料、其制备方法及大电阻薄膜、其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种锌基合金材料，由以下质量分数的原料制备得到：锌基合金：55～65％，水：10～15％，表面活性剂：5～10％，交联剂：10～30％；所述锌基合金包括60～99％的锌和1～40％的铝。本发明通过对锌基合金配方、靶材的制备工艺以及薄膜的制备工艺三部分进行改进，制备得到的锌基合金靶材无形变无裂纹，由该合金材料靶材制备得到的大电阻薄膜有良好的防静电能力，又不能影响电子产品的灵敏度。实验结果表明，本发明中的电子薄膜透光率在98％以上，面电阻为2.6×106～3.3×108Ω/cm2，响应时间为0.17～0.4s。本发明还提供一种锌基合金的制备方法，大电阻薄膜及大电阻薄膜的制备方法。
基本信息
专利标题 ：
一种锌基合金材料、其制备方法及大电阻薄膜、其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114525481A
申请号 ：
CN202011232526.4
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2020-11-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄永香
申请人 ：
湖南七点钟文化科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省湘潭市湘潭经开区大众东路2号办公楼301室
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
付丽
优先权 ：
CN202011232526.4
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 B22F1/10 B22F3/15 C22C18/04 C23C14/06 C23C14/08 C23C14/58 H01C7/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-06-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/35
申请日 : 20201106
申请日 : 20201106
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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