本发明公开了一种基于反转形貌法的高精度刀具磨损测量振动压入装置，包括超声波发生器、换能器、带法兰变幅杆、铝悬臂梁、电容式传感器、支撑架、移动装置、压紧片和装夹平台。本发明将刀具的切削部分复刻在软质金属上，通过对未磨损与已磨损刀具的复刻形貌进行对比，得到刀具的磨损量。反转形貌法检测精度高，适合金刚石刀具等高精度刀具磨损检测。在测量过程中由于刀具直接压入软质金属易存在弹性变形回复，较大的影响了刀具切削部分的复刻形貌精度，无法实现高精度的刀具磨损检测，而振动压入可以减少刀具轮廓复制过程中软质金属的弹性变形回复率，减小压印的误差，从而提高了检测精度。