基于复振幅光场调控技术的三维光束扫描方法与装置
公开
摘要

本发明属于光场调控与高速扫描技术领域,涉及一种基于复振幅光场调控技术的三维光束扫描方法与装置。本发明首次提出通过使用光场调控技术精确调控光场表达式中含有离焦因子和方向因子的光束,进而实现对光束的高速三维扫描。相较于现有的扫描技术,本发明可生成多个扫描光束对被测样品进行扫描,并且可以在不改变装置的情况下灵活地切换扫描光束的数量。同时,本发明选取数字微镜阵列进行光场调控,很好的保证了扫描的速度。此外,本发明所生成的扫描光束可以进行任意非连续的扫描,产生的扫描角度可以是非连续改变的,并且切换速度非常快,不存在扫描空程问题。

基本信息
专利标题 :
基于复振幅光场调控技术的三维光束扫描方法与装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114518652A
申请号 :
CN202011315092.4
公开(公告)日 :
2022-05-20
申请日 :
2020-11-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨佳苗刘林仙邹高宇龚雷何巧芝沈阳杨程灿
申请人 :
绍兴钜光光电科技有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市上虞区岭南乡覆卮村廉士下1-75号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202011315092.4
主分类号 :
G02B26/10
IPC分类号 :
G02B26/10  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置,例如,开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
法律状态
2022-05-20 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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