一种折射率渐变聚合物波导及其制作方法
公开
摘要
本申请公开了一种折射率渐变聚合物波导及其制作方法，包括：提供一种具有基台定位孔的波导衬底；在波导衬底表面制作聚合物波导下包层；在波导下包层远离波导衬底的表面涂覆具有紫外光敏性的波导芯层材料；利用柔性转印膜模具对波导芯层材料进行热压印，以形成具有压印波导链路结构的波导芯层；对具有压印波导链路结构的波导芯层进行热处理；对热处理后的波导进行预曝光处理；在进行预曝光处理后的波导芯层表面涂覆波导上包层；对波导芯层与波导上包层进行固化。通过上述制作方法，能够批量制得性能稳定的折射率渐变聚合物波导，具有良好的经济效益。
基本信息
专利标题 ：
一种折射率渐变聚合物波导及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114563842A
申请号 ：
CN202011364935.X
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2020-11-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘晓锋王国栋缪桦姚腾飞王锐李永凯
申请人 ：
深南电路股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区坪地街道盐龙大道1639号
代理机构 ：
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黎坚怡
优先权 ：
CN202011364935.X
主分类号 ：
G02B6/122
IPC分类号 ：
G02B6/122 G02B6/13
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
G02B6/122
基本光学元件，例如，传导光的光路
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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