一种高灵敏多频段复合式空耦超声换能器及其制备方法
授权
摘要
本发明涉及超声换能器技术领域，公开了一种高灵敏多频段复合式空耦超声换能器及其制备方法，包括由下向上依次设置的下电极层、衬底层、薄膜支撑层和薄膜层，所述薄膜支撑层上表面设置有多个空腔组，每个空腔组包括多个空腔，不同空腔组的空腔半径不同，同一组的空腔半径相同，所述薄膜层上表面与所述空腔对应位置分别设置有上电极。本发明结构简单，制作方便，提高了超声换能器的响应带宽，可以广泛应用于局部放电检测领域。
基本信息
专利标题 ：
一种高灵敏多频段复合式空耦超声换能器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112517361A
申请号 ：
CN202011369570.X
公开（公告）日 ：
2021-03-19
申请日 ：
2020-11-30
授权号 ：
CN112517361B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
文虎吴敏吴涛吴子君秦继朔张福生何常德张文栋薛晨阳张斌珍任勇峰王红亮王子渊孟亚楠
申请人 ：
国网山西省电力公司朔州供电公司
申请人地址 ：
山西省朔州市朔州朔城区古北西街23号(城区五中西)
代理机构 ：
太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
赵江艳
优先权 ：
CN202011369570.X
主分类号 ：
B06B1/06
IPC分类号 ：
B06B1/06 G01R31/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B06
一般机械振动的发生或传递
B06B
一般的机械振动的发生或传递（其特殊物理或机械方法见有关小类，如B07B1/40，B22C19/06，B23Q17/12，B24B31/06，E01C19/22；机械振动的测量，包括发生与测量的结合入G01H；利用声波反射或再辐射的系统入G01S15/00；勘探用地震能的产生入G01V1/02；机械振动的控制入G05D19/00；声音发送、传导或定向的一般方法或装置入G10K11/00；声波的合成入G10K15/02；压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件入H01L41/00；有振动磁体、电枢或线圈的电动机入
B06B1/00
产生亚声频、声频或超声频的机械振动的过程或设备
B06B1/02
利用电能
B06B1/06
用压电效应或用电致伸缩工作的
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2021-04-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B06B 1/06
申请日 : 20201130
申请日 : 20201130
2021-03-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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