气体处理装置及其工作方法
公开
摘要
一种气体处理装置及其工作方法，其中装置包括：第一腔体；位于所述第一腔体内的第二腔体，所述第一腔体与第二腔体之间具有第一空腔，所述第二腔体内具有第二空腔，所述第二腔体具有若干通孔，所述通孔连通所述第一空腔和第二空腔，所述第二腔体包括第一腔壁和第二腔壁，且第二腔壁的厚度小于第一腔壁的厚度；与第一空腔内部连通的通气部件，用于将燃烧气体自所述第一腔体外部通入第一腔体内部，所述通气部件到第一腔壁外表面的距离小于到第二腔壁外表面的距离。所述装置的气体处理效果较好。
基本信息
专利标题 ：
气体处理装置及其工作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114576637A
申请号 ：
CN202011375842.7
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2020-11-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张永杰付金宇许伯山倪清运马彪
申请人 ：
中芯南方集成电路制造有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路18号3号楼5楼
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐文欣
优先权 ：
CN202011375842.7
主分类号 ：
F23G7/06
IPC分类号 ：
F23G7/06 F23G5/50 F23N5/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F23
燃烧设备；燃烧方法
F23G
焚化炉；废物或低品位燃料的焚毁
F23G
焚化炉；废物或低品位燃料的焚毁
F23G7/00
专门适用于焚烧特殊废物或低品位燃料
F23G7/06
处理废气或秽气的，例如排气
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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