微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风

授权

摘要

本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜；防尘膜包括固定在支撑载体上的固定部和设置在固定部中心位置的过滤网；过滤网包括至少两个分区区域，分区区域包括沿对应分区区域的预设圆周方向分布的圆周梁和/或沿对应分区区域的预设半径方向分布的半径梁；其中，圆周梁和/或半径梁用于调整对应分区区域的弯曲刚性，并配置分区区域的凹凸形状。利用上述发明能够通过圆周梁和/或半径梁对防尘膜的弯曲刚性进行调节，使得防尘膜形成任意凹凸形状，提高抗皱能力。

基本信息

专利标题：

微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112492479A

申请号：

CN202011400342.4

公开（公告）日：

2021-03-12

申请日：

2020-12-02

授权号：

CN112492479B

授权日：

2022-05-06

发明人：

畠山庸平林育菁

申请人：

潍坊歌尔微电子有限公司

申请人地址：

山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司

代理人：

王迎

优先权：

CN202011400342.4

主分类号：

H04R19/04

IPC分类号：

H04R19/04