压力检测系统
公开
摘要
本发明实施例提供一种压力检测系统，包括：研磨手臂与受力层，所述受力层用于承受所述研磨手臂的压力；基底和多个弹性体，多个所述弹性体固定于所述受力层和所述基底之间；形变传感器，用于检测所述弹性体的形变量；分析装置，用于根据所述形变传感器的检测结果以及所述弹性体的弹性系数获取所述受力层承受的压力。本发明实施例有利于检测研磨手臂施加于受力层的压力的均衡性。
基本信息
专利标题 ：
压力检测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114603474A
申请号 ：
CN202011414407.0
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2020-12-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张正先
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 ：
上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
成丽杰
优先权 ：
CN202011414407.0
主分类号 ：
B24B37/00
IPC分类号 ：
B24B37/00 B24B37/005 B24B37/34 B24B37/11 B24B49/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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