压力检测系统及压力检测方法
公开
摘要
本发明实施例提供一种压力检测系统及压力检测方法，压力检测系统包括：研磨手臂与受力装置，所述受力装置单侧固定，所述受力装置用于承受所述研磨手臂的压力；压力传感器，固定于所述受力装置上，用于检测所述受力装置承受的压力；研磨盘，固定于所述研磨手臂上，所述研磨手臂通过所述研磨盘向所述受力装置施加压力。本发明实施例有利于准确获取实际研磨过程中研磨对象所承受的压力。
基本信息
专利标题 ：
压力检测系统及压力检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114603482A
申请号 ：
CN202011410569.7
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2020-12-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张正先裴威
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 ：
上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
成丽杰
优先权 ：
CN202011410569.7
主分类号 ：
B24B49/00
IPC分类号 ：
B24B49/00 B24B37/34 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B49/00
用于控制磨具或工件进给运动的测量或校准装置；指示或测量装置的布置，如用于指示磨削加工开始的
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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