闪烁体膜层及其制备方法、平板探测器和探测装置
公开
摘要
本申请提供了一种闪烁体膜层及其制备方法、平板探测器和探测装置，该闪烁体膜层包括：具有相对布置的第一表面和第二表面的隔离模板层；隔离模板层内沿垂直于第一表面的方向设有多个直径为微米级的注入孔；注入孔靠近所述第一表面的一端为第一端，注入孔靠近第二表面的一端为第二端，第二端在第二表面所在平面内的投影面积小于对应子像素单元的面积；注入孔内填充有用于将射线光转换为可见光的闪烁体晶柱。通过在隔离模板层内布置闪烁体晶柱，利用闪烁体晶柱将射线转换为可见光，同时利用闪烁体晶柱之间的隔离模板层限制可见光的横向串扰，使闪烁体晶柱转换得到的可见光尽可能的只到达对应像素上，提升探测器的空间分辨率。
基本信息
专利标题 ：
闪烁体膜层及其制备方法、平板探测器和探测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114613790A
申请号 ：
CN202011449056.7
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2020-12-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王振宇占香蜜尚建兴丁志
申请人 ：
京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区酒仙桥路10号
代理机构 ：
北京市立方律师事务所
代理人 ：
张筱宁
优先权 ：
CN202011449056.7
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146 G01T1/202
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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