一种高效率极紫外辐射产生方法及系统
公开
摘要
本发明公开了一种高效率极紫外辐射产生方法，通过激光打固体靶产生极紫外辐射，对激光进行聚焦，聚焦后的激光作用在靶材上，聚焦前的激光源为飞秒激光源；靶材为满足平均密度介于常规固体和常规气体之间、微米尺寸下分布均匀、边界陡峭特点的材质，本发明还公开了一种高效率极紫外辐射产生系统，包括激光源(1)和靶(2)，在激光源(1)与靶(2)之间还设置有离轴抛物面镜聚焦装置(4)，在激光源(1)与离轴抛物面镜聚焦装置(4)之间设置有等离子体镜装置(5)。根据本发明所述的高效率极紫外辐射产生方法及装置，具有产生极紫外辐射效率高、谱带宽、光谱可调等诸多优点。
基本信息
专利标题 ：
一种高效率极紫外辐射产生方法及系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114624959A
申请号 ：
CN202011453395.2
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-12-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马文君寿寅任王鹏杰徐诗睿赵家瑞颜学庆
申请人 ：
北京大学
申请人地址 ：
北京市海淀区颐和园路5号
代理机构 ：
北京康思博达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
范国锋
优先权 ：
CN202011453395.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G21K1/06 H05G2/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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