周期性结构、承片台及其制造方法
公开
摘要

本发明提供了一种周期性结构、承片台及其制造方法,周期性结构为三周期极小曲面结构,周期性结构包括若干周期性排布的支撑结构,支撑结构具有分别沿X向、Y向和Z设置的支撑杆,任意正交相连的两支撑杆之间均设有弧形过渡结构。由于构成本发明的周期性结构的支撑结构具有分别沿X向、Y向和Z向设置的支撑杆,由此任意两个沿不同方向设置的支撑杆之间均为正交设置,从而可以获得体密度比极低,而空间上仍然连续的周期性结构。此外,由于任意正交相连的两支撑杆之间均设有弧形过渡结构,由此可以提高本发明提供的周期性结构的强度,进一步使得本发明提供的周期性结构在体密度比极低时,在X向、Y向和Z向仍然能够保持连续。

基本信息
专利标题 :
周期性结构、承片台及其制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114621013A
申请号 :
CN202011461527.6
公开(公告)日 :
2022-06-14
申请日 :
2020-12-11
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吴飞
申请人 :
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区张东路1525号
代理机构 :
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 :
王宏婧
优先权 :
CN202011461527.6
主分类号 :
C04B35/573
IPC分类号 :
C04B35/573  C04B35/622  C04B35/626  C04B38/00  B33Y70/10  B33Y10/00  G03F7/20  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C04
水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料
C04B
石灰;氧化镁;矿渣;水泥;其组合物,例如:砂浆、混凝土或类似的建筑材料;人造石;陶瓷;耐火材料;天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品;陶瓷组合物;准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/515
以非氧化物为基料的
C04B35/56
以碳化物为基料的
C04B35/565
以碳化硅为基料的
C04B35/569
精细陶瓷
C04B35/573
用反应烧结获得的
法律状态
2022-06-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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