线宽压窄模块温度监测装置及其监测方法
公开
摘要
本发明提供了一种线宽压窄模块温度监测装置，属于准分子激光器技术领域，包括：透视窗和热成像仪；所述透视窗固定安装于线宽压窄模块上；所述热成像仪通过透视窗监测线宽压窄模块内部的光学元件的温度变化，并将光学元件温度变化以数据形式向外输出。本发明的线宽压窄模块温度监测装置，安装调试方便，小巧，采用热成像仪对线宽压窄模块内部各个光学元件不同位置的引起温度畸变点能够进行精确的实时监测。
基本信息
专利标题 ：
线宽压窄模块温度监测装置及其监测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114626182A
申请号 ：
CN202011464411.8
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-12-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈刚李祖友蔡森詹绍通江锐
申请人 ：
北京科益虹源光电技术有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号10号楼二层201
代理机构 ：
深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹卫良
优先权 ：
CN202011464411.8
主分类号 ：
G06F30/20
IPC分类号 ：
G06F30/20 G01J5/00 G01J5/02 G03F7/20 H01S3/00 H01S3/03 G06F119/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06F
电数字数据处理
G06F30/20
设计优化、验证或模拟
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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