一种测定无尘室环境中磷含量的方法
公开
摘要
本发明公开了一种测定无尘室环境中磷含量的方法，包括：将晶圆在无尘室环境中放置第一时长；利用提取液提取所述晶圆表面的磷元素；检测反应后的提取液中的磷含量。根据本发明提供的一种测定无尘室环境中磷含量的方法，提供将晶圆在无尘室环境中放置一段时间，然后利用提取液提取所述晶圆表面的磷元素，并检测反应后的提取液中的磷含量，从而测定尘室环境中的磷含量，该方法操作简单、检测速度快、成本低。
基本信息
专利标题 ：
一种测定无尘室环境中磷含量的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114624374A
申请号 ：
CN202011474438.5
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-12-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王沿方王金成李晓丽贾逸豪
申请人 ：
无锡华润上华科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
代理机构 ：
北京市磐华律师事务所
代理人 ：
吴洋
优先权 ：
CN202011474438.5
主分类号 ：
G01N30/72
IPC分类号 ：
G01N30/72 G01N30/74 G01N30/88
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N30/00
利用吸附作用、吸收作用或类似现象，或者利用离子交换，例如色谱法将材料分离成各个组分，来测试或分析材料
G01N30/02
柱色谱法
G01N30/62
相应的专用检测器
G01N30/72
质谱仪
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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