本发明属于陶瓷材料技术领域，具体涉及一种氮化硅陶瓷脱水元件及其制备方法和应用。本发明提供的氮化硅陶瓷脱水元件的制备方法，包括以下步骤：将氮化硅粉、氧化铝粉、氧化钇粉、氧化钛粉、聚乙二醇和水混合，得到浆料；将所述浆料进行喷雾造粒，将所得混料粉依次进行干压成型、冷等静压、排胶和烧结，得到所述氮化硅陶瓷脱水元件。在本发明中，干压有利于精准控制陶瓷素坯的尺寸，在冷等静压条件下，陶瓷素坯各方向承受均匀的压力，在尺寸可控的前提下进一步提高陶瓷素坯的密度和内部结构的均匀性。实验结果表明，采用本发明提供的制备方法制备的氮化硅陶瓷脱水元件体积密度高，力学性能优良。