一种基于近场光纤探针的激光诱导击穿光谱分析系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种基于近场光纤探针的激光诱导击穿光谱分析系统,包括用于发射激光光束的激光器以及供激光光束依次经过的倍频模块、紫外熔融石英玻璃柱、高功率光纤,所述高功率光纤朝向样品的一端形成呈锥形的针状的光纤探针部。本实用新型的基于近场光纤探针的激光诱导击穿光谱分析系统将激光耦合进入一根光纤,光纤的末端被制成锥形,激光束传输至光纤末端后,会在光纤探针部形成强光场分布,由于该激光点的形成基于光波导耦合理论,因此具有更高的光学分辨率,当光纤探针部的尖端接近样品表面后,激光即作用样品表面形成等离子体,烧蚀坑横线宽可达到小于1μm,实现亚微米量级分辨率和对痕量元素的分析能力。
基本信息
专利标题 :
一种基于近场光纤探针的激光诱导击穿光谱分析系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020013362.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-02
授权号 :
CN211825634U
授权日 :
2020-10-30
发明人 :
郑重杨新艳苏云易裕生吕海萍
申请人 :
深圳青锐科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华新区龙华街道梅龙路客盛智创大厦3楼302
代理机构 :
深圳市顺天达专利商标代理有限公司
代理人 :
高占元
优先权 :
CN202020013362.5
主分类号 :
G01N21/01
IPC分类号 :
G01N21/01 G01N21/73
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2020-10-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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