考虑力传感器变形的原位压痕测试装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种考虑力传感器变形的原位压痕测试装置，测试装置包括z轴精密定位单元、压痕力加载及检测单元、压入深度检测单元、两自由度粘滑式压电精密定位平台。压痕力加载及检测单元安装在z轴精密定位单元上，压入深度检测单元安装在压痕力加载及检测单元上，两自由度粘滑式压电精密定位平台安装在z轴精密定位单元上。优点在于：装置考虑了力传感器的变形，通过力传感器和电容式位移传感器的合理布置方式，从结构上避免了由于力传感器变形带来的测量误差，可以得到更精确的压痕深度值，提高了测试精度。装置结构紧凑、尺寸小，具有大范围高精度的二自由度定位能力，可以方便地安装在扫描电子显微镜内对材料进行原位压痕测试。
基本信息
专利标题 ：
考虑力传感器变形的原位压痕测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020039078.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-09
授权号 ：
CN211453218U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
黄虎李轩王馗沣杨智鑫孙午向徐智
申请人 ：
吉林大学
申请人地址 ：
吉林省长春市前进大街2699号
代理机构 ：
长春市恒誉专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李荣武
优先权 ：
CN202020039078.5
主分类号 ：
G01N3/42
IPC分类号 ：
G01N3/42 G01N3/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N3/18
••在高温或低温下进行试验
G01N3/40
测试硬度或回弹硬度
G01N3/42
用压头在稳定载荷下压印，例如球形压头，棱锥形压头
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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