本实用新型涉及超薄玻璃的激光成丝钻孔与超声波裂片装置，包含用于提供高斯光束的红外皮秒激光器、用于驱动超薄玻璃运动的X‑Y轴运动平台以及超声波裂片装置，红外皮秒激光器的输出光路上布置有用于减小发散角和扩大光斑的扩束镜以及用于反射激光束并改变光束传播方向的光路反射单元，光路反射单元的输出光路上布置衍射镜、聚焦镜和物镜，聚焦镜安装于Z轴向直线运动单元上，物镜正对于X‑Y轴运动平台上的超薄玻璃；超声波裂片装置包含用于产生超声波的超声波换能器以及用于将超声波传递至超薄玻璃的传递介质，超声波换能器设于超薄玻璃的运动轨迹上方。基于成丝切割技术并控制出光，形成细丝现象，超声波实现残料与超薄玻璃的分离。