一种石英罩小孔盖板组件
授权
摘要
本实用新型专利提供了一种新型结构的石英罩小孔盖板组件，包括石英罩及小孔盖板，小孔盖板包括板体，该板体具有两面的光滑表面，其中一个表面突出有两个平行设置的长方体定位块，该两个定位块均位于小孔内，且两个定位孔之间的板体部分作为激光对接部位；激光对接部位的厚度为较薄的板体的厚度，而不像现有技术中是较厚的凸台的厚度，故本技术方案可以有效的避免定位激光因为小盖板结构的不合理引起的光线发散，导致激光定位仪不能收到反馈信号影响基座定位的缺陷。种新型小盖板结构在激光对接部位的厚度更薄，减弱了对硅外延反应时气体的吸力，其表面发生淀积的能力极大地降低。
基本信息
专利标题 ：
一种石英罩小孔盖板组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020061593.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-13
授权号 ：
CN211645444U
授权日 ：
2020-10-09
发明人 ：
陈浩何文俊冯永平孙铁成
申请人 ：
南京国盛电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁经济技术开发区正方中路166号
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
张弛
优先权 ：
CN202020061593.3
主分类号 ：
C30B25/12
IPC分类号 ：
C30B25/12 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B25/00
反应气体化学反应法的单晶生长，例如化学气相沉积生长
C30B25/02
外延层生长
C30B25/12
衬底夹持器或基座
法律状态
2020-10-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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