一种可切换方向的真空加热探针台装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种可切换方向的真空加热探针台装置,包括真空腔室、位于真空腔室内部的样品台、位于真空腔室上的管道以及第一通孔和第三通孔;所述样品台为可旋转样品台,用于固定样品;所述管道为真空管道,用于抽出真空腔室空气;所述第一通孔和第三通孔位于真空腔室任意位置,第一通孔用于激光通过,第三通孔用于连接电线通过;本实用新型通过真空腔体和真空管道的配合,能够实现在真空环境下测试场效应晶体管的性能;通过气泵,能够使样品在测试过程中能水平垂直翻转;通过若干第一通孔,可以使激光进入真空腔室,能够使样品在多种光路下进行测试;通过加热盘,可以使样品在不同的温度下进行测试,使测试结果更加丰富与精准。
基本信息
专利标题 :
一种可切换方向的真空加热探针台装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020078720.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-15
授权号 :
CN212341245U
授权日 :
2021-01-12
发明人 :
邱锋黄涛吕文霞褚景豫张婉刘子睿田一胡涛丁家芬
申请人 :
云南大学
申请人地址 :
云南省昆明市五华区翠湖北路2号
代理机构 :
成都九鼎天元知识产权代理有限公司
代理人 :
韩雪
优先权 :
CN202020078720.0
主分类号 :
G01R1/02
IPC分类号 :
G01R1/02 G01R1/04 G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
法律状态
2021-01-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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