一种抽真空系统
授权
摘要
本实用新型提供一种抽真空系统，包括：多台低真空泵(P1)，为机械真空泵，具有三台，其中一台机械真空泵用于抽低真空，另外两台机械真空泵与超高压真空扩散泵(P2)直连，用于作为超高压真空扩散泵的前级使用；多台超高真空扩散泵(P2)，与低真空泵(P1)部分通过洁净管路连通；以及阀门系统，分别与低真空泵(P1)以及超高真空扩散泵(P2)通过真空密封焊进行焊接连接；阀门系统包括：多个电磁阀，设置在低真空泵的连接主管路上，并设置连接有小通径旁路；多个电磁高真空挡板阀(V1,V2,V4,V6,V10)；多个电磁高真空自动充放气阀(V8,V10)，设置在系统的洁净管道中，工艺结束对加热炉腔体放气；以及电动插板阀门(V3)，安装在每个超高真空扩散泵的进气口。
基本信息
专利标题 ：
一种抽真空系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020106544.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-17
授权号 ：
CN213392595U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
鲜伟
申请人 ：
川北真空科技（北京）有限公司
申请人地址 ：
北京市昌平区振兴路36号首科凯奇大厦5层
代理机构 ：
北京华旭智信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李丽
优先权 ：
CN202020106544.7
主分类号 ：
F04B41/06
IPC分类号 ：
F04B41/06 F04B37/12 F04B39/10 C03C27/06 C03B23/207
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B41/00
专门适用于弹性流体的泵送装置或系统
F04B41/06
两个或多个泵的组合
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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