窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型涉及窄截面光电子能谱测试技术领域,尤其涉及一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具,包括基板和固定板;所述基板的顶部设置有至少一个准直板,所述准直板沿所述基板的顶部向外延伸;所述固定板和所述基板之间设置有连接结构;所述基板、所述固定板和所述准直板的表面至少有不小于100nm厚的钼层。本实用新型提供的窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具用于消除来自于测试样品表面的信号干扰,特别适用于样品相邻测试面材料与截面材料不同的样品测试,能够成功屏蔽来自测试样品相邻测试面的干扰信号,实现了对样品截面的光电子能谱精准测试。

基本信息
专利标题 :
窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的样品夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020107396.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-17
授权号 :
CN211697584U
授权日 :
2020-10-16
发明人 :
朱雷纪约义吴俊贤徐可华佑南李晓旻
申请人 :
胜科纳米(苏州)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区9栋507室
代理机构 :
北京崇智专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
赵丽娜
优先权 :
CN202020107396.0
主分类号 :
G01N23/2273
IPC分类号 :
G01N23/2273  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料,例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/227
测量光电效应,例如,光电子发射显微镜
G01N23/2273
测量光电子光谱,例如用于化学分析的电子光谱或X射线光电子能谱
法律状态
2021-08-17 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01N 23/2273
变更事项 : 专利权人
变更前 : 胜科纳米(苏州)有限公司
变更后 : 胜科纳米(苏州)股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区9栋507室
变更后 : 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507室
2020-10-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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