电子能谱仪样品分析前处理装置，涉及一种电子能谱仪。提供一种电子能谱仪样品分析前处理装置。设有手套箱、预备室、手套机构、真空泵和原位反应池。手套箱上设有箱侧门、进出气口、导入反应气体口、导入反应液体口、观察窗、电子能谱仪接口和压力表；预备室上设有侧门、可抽真空的进出气口和压力表；手套机构接手套箱，手套机构上设有进出气口，进气口外接补气源；真空泵接手套箱出气口，真空泵接预备室的可抽真空出气口，真空泵接手套机构出气口；原位反应池设于手套箱内，原位反应池上设有电源接口、热电偶接口、导入气体接口和导出气体接口，导入气体接口接手套箱的导入反应气体口，导出气体接口接手套箱的出气口。