一种用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置，包括底板、至少三个夹持杆、设于夹持杆一端的硅片夹持球、用于调整夹持杆周向位移的周向组件和用于调整周向组件沿夹持杆轴向方向位移的轴向组件，其中各夹持杆于底板上表面的竖直方向上的投影延长线相交于同一点，所述硅片夹持球的外球面由多个平面拼接而成，能够确保样品分析面处于水平面状态，从而提高检测的准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921722307.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-11
授权号 ：
CN210803336U
授权日 ：
2020-06-19
发明人 ：
王志轩
申请人 ：
闳康技术检测（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路1505弄138号6幢一楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921722307.7
主分类号 ：
G01N23/2204
IPC分类号 ：
G01N23/2204
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/2204
样品支架；样品的输送方法
法律状态
2020-06-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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