表面电子能谱的测量方法及其装置

专利权的终止未缴年费专利权终止

摘要

一种表面电子能谱的测量方法及其装置，试样加热采用直接加热方式，其特征在于：加热电流采用脉冲调制波的形式，使加热和测试在不同的时间间隔内轮流进行。一种实现上述测量方法的测量系统，其特征在于用脉冲调制开关电源产生上述方法中的电流，本发明具有不影响系统真空度、加热区减小、温度上限高、升温速度快，且测试信号不受影响等优点。

基本信息

专利标题：

表面电子能谱的测量方法及其装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1072262A

申请号：

CN92106277.X

公开（公告）日：

1993-05-19

申请日：

1992-06-29

授权号：

CN1031902C

授权日：

1996-05-29

发明人：

李京夏邦杰张立新

申请人：

中国科学院金属腐蚀与防护研究所

申请人地址：

110015辽宁省沈阳市和平区文萃路62号

代理机构：

中国科学院沈阳专利事务所

代理人：

闵宪智

优先权：

CN92106277.X

主分类号：

G01N23/227

IPC分类号：

G01N23/227

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01N

借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料

G01N23/00

利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子

G01N23/22

通过测量材料的二次发射

G01N23/227

测量光电效应，例如，光电子发射显微镜

法律状态

1999-08-25 ：

专利权的终止未缴年费专利权终止

1998-04-29 ：

发明专利公报更正

更正卷 : 13
号 : 33
页码 : 120
更正项目 : 专利权终止
误 : 终止
正 : 取消专利权终止

1997-08-13 ：

专利权的终止未缴年费专利权终止

1996-05-29 ：

授权

1993-05-19 ：

公开

1993-03-17 ：

实质审查请求的生效

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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