电子能谱仪

专利权的终止未缴年费专利权终止

摘要

本发明提供产生电子发射表面图象的电子能谱仪，包括：a)使表面发射电子的装置：b)第一静电透镜系统，把电子投射到第一衍射面上，作电子图象的傅里叶变换：c)第一个表面图象的环形电容式静电能量分析仪：d)能量选择装置，用来发射只在选定范围内的上述能量色散傅里叶变换电子，e)第二静电透镜系统。本发明的能谱仪可检测分析不受空间细节影响的能谱，并可把相应能量范围内发射电子形成的表面图象投射到第二个象平面上。

基本信息

专利标题：

电子能谱仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN87103626A

申请号：

CN87103626.6

公开（公告）日：

1988-06-01

申请日：

1987-05-19

授权号：

CN1010979B

授权日：

1990-12-26

发明人：

伊安·罗伯特·米歇尔·瓦德尔彼得·阿兰·科克森

申请人：

VG仪器集团有限公司

申请人地址：

英国西萨塞克斯

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利代理部

代理人：

刘晖

优先权：

CN87103626.6

主分类号：

G01N23/22

IPC分类号：

G01N23/22 H01J37/00