水汽分离排放装置及电镀设备
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型提供一种水汽分离排放装置及电镀设备。该装置包括第一气液分离罐、第二气液分离罐及抽气泵,第一气液分离罐和第二气液分离罐均包括进液口、排液口及排气口;第一气液分离罐的进液口与待排放的气液源相连通,排气口与第二气液分离罐的进液口相连通;第二气液分离罐的排气口与抽气泵相连通,且第二气液分离罐内设置有除雾器,除雾器位于第二气液分离罐的排气口上;含有水汽的气体经第一气液分离罐进行第一次气液分离后,进入第二气液分离罐中进行第二次气液分离。本实用新型可以显著改善水汽分离排放的效果,有助于延长气体排放管路和抽气泵的使用寿命,有助于减少清洗维修作业工作量,降低生产成本,提高职业健康水平。

基本信息
专利标题 :
水汽分离排放装置及电镀设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020140982.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-22
授权号 :
CN211799384U
授权日 :
2020-10-30
发明人 :
郑文郁海洋
申请人 :
中芯长电半导体(江阴)有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市江阴市长山大道78号
代理机构 :
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 :
余明伟
优先权 :
CN202020140982.5
主分类号 :
B01D45/08
IPC分类号 :
B01D45/08  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D45/00
通过重力、惯性或离心力从气体或蒸气中分离弥散的粒子
B01D45/04
利用惯性
B01D45/08
靠对着分离器挡板的撞击
法律状态
2021-07-02 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : B01D 45/08
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中芯长电半导体(江阴)有限公司
变更后 : 盛合晶微半导体(江阴)有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214437 江苏省无锡市江阴市长山大道78号
变更后 : 214437 江苏省无锡市江阴市长山大道78号(经营场所江阴市东盛西路9号)
2020-10-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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