平面度测量装置

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摘要

本实用新型涉及一种平面度测量装置。所述平面度测量装置包括机台、承载模组、相机标定模组、激光打点模组、移动模组及电控模组，承载模组设置于机台上且用于承载待测元件，相机标定模组及激光打点模组均通过移动模组连接在机台上，电控模组电连接相机标定模组、激光打点模组，相机标定模组用于对待测元件进行相机标定并输出待测元件的定位数据至电控模组，电控模组用于依据待测元件的定位数据控制移动模组带动激光打点模组移动并发射激光打点信号至待测元件的表面，激光打点模组还用于接收在待测元件的表面的反射的激光打点信号反射信号并输出对应的高度反馈数据至电控模组，电控模组还用于依据高度反馈数据计算并输出待测元件的表面的平面度。

基本信息

专利标题：

平面度测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020155358.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-02-07

授权号：

CN211234325U

授权日：

2020-08-11

发明人：

和攀峰石纯龙

申请人：

凌龙智能（深圳）科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区龙华区龙华街道三联社区联弓路7号整套-9

代理机构：

深圳市智财汇专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

胡小蓉

优先权：

CN202020155358.2

主分类号：

G01B11/30

IPC分类号：

G01B11/30